广州粤升半导体设备有限公司（以下简称“广州粤升”）于2024年9月实现碳化硅（SiC）外延设备的大批量出货，这象征广州粤升在SiC设备领域迈向了新的征程。此批设备在第一代外延炉基础上做了进一步优化设计，具备生产高质量、高稳定性的外延片生产能力，可充分满足客户对高性能材料的追求，为客户在激烈的市场竞争中增添制胜砝码。

广州粤升自主研发的SiC外延设备，已在客户端连续稳定运行近两年，生长的SiC外延片质量达到国际先进水平，特别是能够满足厚膜以及3C晶型的外延要求。广州粤升尤其注重对设备使用者的安全防护，其设备产品的电磁辐射值和噪音水平均处于国内领先地位。同时，广州粤升具备国内顶级外延团队资源，可为客户提供洁净室规划、特气系统设计建议以及外延工艺培训等一站式服务。

【关于广州粤升】

广州粤升成立于2021年，为东莞中科汇珠全资子公司，聚焦第三代半导体SiC产业链中的晶体生长和外延设备，以突破国外技术垄断和封锁为己任，实现关键核心装备的国产化。2022年公司首台SiC外延设备研发成功，2023年首批液相法SiC单晶炉完成研发并交付客户；同时，广州粤升已通过半导体行业SEMI S2国际认证，以及ISO9001质量管理体系认证。广州粤升持续秉持“追求卓越，成为全球一流的SiC设备供应商”的宗旨，不断探索，不断突破，为半导体行业的发展贡献更坚实力量。