我司配备针对SiC晶片的各种先进检测设备,可提供SiC晶片膜厚、载流子浓度、粗糙度等检测与分析服务
SiC晶圆观察分析
SiC晶圆表面载流子浓度检测
原子力显微镜测试SiC外延片表面粗糙度
测试SIC晶圆平坦度和厚度变化
检测和分析 SiC 外延中的表面缺陷和晶体缺陷