北京晶格领域半导体有限公司(以下简称“晶格领域”)近日获得了北京市政府投资基金的重点投资。这一重大利好将进一步加速公司在液相法碳化硅(SiC)衬底的研发和生产进程,助力其成为国内领先的第三代半导体材料供应商。
据悉,晶格领域已在顺义区成功建成一条液相法SiC衬底中试线,并计划于2025年初完成小规模产线建设,届时年产能将达到2.5万片SiC衬底。这条中试线涵盖了碳化硅长晶、加工及检测等完整衬底制备工艺环节,为公司的技术研发和生产能力提升奠定了坚实基础。
晶格领域中试线(图源:晶格领域)
晶格领域在液相法SiC衬底的研发过程中,充分利用液相法技术在扩径上的独特优势。液相法通过将固态原材料在高温下融化成液体,再在液体中重新结晶,能够高效生长高质量、低缺陷的碳化硅单晶。相比传统的物理气相传输法,液相法不仅晶体质量更高、缺陷更少、成品率更高,且生长速度可达500微米/小时,同时实现了“零微管”生长,极大地提升了衬底的可靠性和性能。
顺义区经信局相关负责人表示:“我们将会同属地持续支持企业进行技术创新,在政策、配套、资源等方面给予全方位支持,帮助企业用好用足市区两级政策,实实在在为企业纾困解难,不断提升营商环境,为企业高质量发展创造良好条件。”此次获得北京市政府投资基金的支持,是对晶格领域多年来坚持自主创新和发展战略的高度认可。
晶格领域通过不断的技术创新和突破,正逐步形成完整的产业链条,从碳化硅单晶的生长、加工到最终的衬底制备,覆盖了SiC衬底生产的各个环节。这不仅提升了公司的核心竞争力,也为顺义区乃至北京市的半导体产业发展注入了新的活力。
晶格领域计划在现有中试线的基础上,于2025年初完成小规模产线建设,年产2.5万片SiC衬底的生产能力将进一步满足市场需求。为应对未来更大规模的生产,公司已开始规划年产27万片碳化硅衬底的规模化产线布局,力争在未来几年内实现大规模量产。