技术参数:

1) 共聚焦系统：光斑大小为10um，分辨率10nm

2) 测量范围：厚度200~1500um、Warp 0~200um、Bow -200um~200um、TTV 0~200um、LTV 0~200 μm

3) OCR读码功能：精度>99%

4) 扫描速度（6-inch）:<3.5分钟/片(map图扫描2mm间距采集)

5) 重复性:厚度±0.1 μm，Warp±0.5 μm，Bow±0.3 μm，TTV±0.5 μm，LTV±0.2 μm

6) 平台运动行程：X=205mm，Y=205mm，Z=50mm