SiC外延层的厚度检测

我司配备针对SiC晶片的各种先进检测设备,可提供SiC晶片膜厚、载流子浓度、粗糙度等检测与分析服务
返回列表

我司配备针对SiC晶片的各种先进检测设备,可提供SiC晶片膜厚、载流子浓度、粗糙度等检测与分析服务

技术指标:

1.光谱分辨率:优于0.25cm-1

2.干涉仪:平面镜(非立体角镜)电磁驱动,具有13万次或以上连续动态调整功能

3.光谱范围:7800-350cm-1

4.灵敏度:优于50000:1(峰-峰值,4cm-1分辨率,1分钟扫描,DTGS检测器)

5.波数精度:0.005cm-1

6.样品尺寸:直径≤15mm

详情请联系销售部吴经理15225822566