SiC晶圆清洗服务

为客户提供去金属残留的清洗服务
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中科汇珠为客户提供去金属残留的清洗服务

SBD器件用外延片均已处于规模供片阶段，外延片厚度偏差<3.0%，外延片面内载流子浓度偏差<5.0%，详细参数如下：



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