SiC晶圆观察分析

SiC晶圆观察分析
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技术参数:
1)最大分辨率370nm

2)复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径的大平台显微镜

3)可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明观察方式

4)手动大尺寸载物台,载物台尺寸: 245*245mm,行程: 202*202mm

5)样品尺寸:直径≤150mm

6)物镜放大倍数:5X1

详情请联系销售部吴经理15225822566