|
类目 |
标准值 |
典型值 |
标准值 |
|
|
晶型 / 尺寸 |
4H / 4或6英寸 |
|||
|
CMP晶面 |
(0001)Si晶面 |
|||
|
偏角 |
偏[11-20]4度 |
|||
|
导电性 |
n型 |
p型 |
||
|
掺杂 |
氮 |
铝 |
||
|
载流子浓度 |
范围 |
1E15~5E16 cm-3 |
1E15~5E16 cm-3 |
1E16 ~ 5E17 cm-3 |
|
容忍度 |
±10% |
±9% |
±20% |
|
|
均匀度 |
≤5% |
≤4% |
≤10% |
|
|
厚度 |
范围 |
＜20 μm |
＜20 μm |
＜20 μm |
|
容忍度 |
±6% |
±5% |
±6% |
|
|
均匀度 |
≤ 3% |
< 2% |
≤ 3% |
|
|
表面缺陷密度 |
≤0.6 cm-2 |
≤0.5 cm-2 |
≤0.6 cm-2 |
|
|
表面粗糙度 |
≤0.3 nm |
≤0.2 nm |
≤0.3 nm |
|
注释：
厚度及载流子浓度测试方法通常为9点（去边=5mm)（如图），客户可指定测试方法。
①载流子浓度使用MCV测试仪进行测量。
②厚度使用红外光谱仪进行测量。
③表面缺陷包含彗星缺陷、三角形缺陷、胡萝卜缺陷以及掉落物。
④表面粗糙度使用原子力显微镜进行测量，扫描尺寸为10×10 μm2。
*注：我司可根据客户定制参数更严格的外延片。