技术参数:

1)测试模式: MOS、Schottky

2)样品尺寸:直径≤200mm，非标样品或者碎片最小测试尺寸30mm X 30mm

3)外延层载流子浓度测试范围:1E14-5E18 cm^-3

4)单点测试面积:0.018-0.027 cm²

5)汞接触面积重复性: 1sigma <0.5%

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