技术参数:

1) 最大扫描速率:100Hz/line

2)测试模式:接触模式、非接触模式、轻敲模式

3) 扫描范围:100*100*15 μm（X*Y*Z）

4) 最大共振频率:3Mhz

5) 镜头：10X,最大视野360*480 μm

6) 最大样品测试尺寸：200*200*20mm（X*Y*Z）